µ¿¾Æ ´ëÇб³ ¹°¸®Çаú

¹°¸®Çаú °³¿ä

µ¿¾Æ´ëÇб³´Â 1947³â 12¿ù 30ÀÏ ¹®±³ºÎ·ÎºÎÅÍ Àç´Ü¹ýÀÎ µ¿¾ÆÇм÷ÀÇ ¼³¸³Çã°¡¿Í µ¿¾Æ´ëÇÐÀÇ ¼³¸³Àΰ¡¸¦ ¹Þ¾Æ ¹ýÇкÎ(¹ý·üÇаú), ¹®¸®ÇкÎ(Á¤°æÇаú, ¹®Çаú, ¼öÇаú, ¹°¸®Çаú)ÀÇ 2ÇкΠ5°³ÇаúÀÇ 4³âÁ¦ ´ëÇÐÀ¸·Î Á¤½Ä °³±³ÇÏ¿´´Ù. ¹°¸®ÇаúÀÇ ¼³Ä¡´Â ºÎ»ê, °æ³² Áö¿ª¿¡¼­´Â óÀ½À¸·Î ÀÌ·ç¾îÁø ÀÏÀ̾ú´Ù. 1958³â¿¡´Â ¹°¸®Çаú¿¡ ´ëÇпø ¼®»ç°úÁ¤ÀÌ ¼³Ä¡µÇ¾î ¸í½Ç»óºÎÇÏ°Ô ±âÃʰúÇÐ ¿¬±¸Àη ¾ç¼ºÀ̶ó´Â Çаú º»·¡ÀÇ ¸ñÇ¥¿¡ Ãæ½ÇÀ» ±âÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÇ¾ú´Ù. ±×·¯³ª ±âÃʰúÇÐ ¿¬±¸¿¡ ´ëÇÑ Á¤ºÎ¿Í »çȸÀÇ ¹«°ü½É°ú ÀçÁ¤ Áö¿øÀ̶ó´Â ¸é¿¡¼­ ¿­¼¼¿¡ ³õÀÎ Áö¹æ»çÇÐÀÇ ¾î·Á¿òÀ¸·Î ÀÎÇÏ¿© ¹°¸®ÇÐ ±³¼ö¿ä¿øµéÀÌ Çб³¸¦ ¶°³ª°Ô µÇ°í, 1967³â 1¿ù¿¡´Â ´ëÇпøÀÇ ¹°¸®Çаú ¼®»ç°úÁ¤ÀÌ ÆóÁöµÇ¾ú´Ù. ¸¶Ä§³» 1968³â 12¿ù¿¡´Â ¹®¸®°ú´ëÇÐÀÇ ¼ö¹°Çаú·Î °³ÆíµÊ¿¡ µû¶ó ¹°¸®Çаú´Â »ç½Ç»ó Æó°úµÇ´Â ¾ÆÇÄÀ» °¨³»ÇÏ¿©¾ß Çß´Ù. 70³â´ë ÀÌÈÄ ±âÃʰúÇÐÀÇ Á߿伺ÀÌ ºÎ°¢µÇ°í °í±Þ ¿¬±¸Àη ¹× °úÇб³»çÀÇ ¾ç¼ºÀÌ ±¹°¡Àû Áß¿ä°úÁ¦·Î ´ëµÎµÊ¿¡ µû¶ó, 73³â 1¿ù¿¡´Â ±³À°´ëÇпø¿¡ ¹°¸®±³À° ¼®»ç°úÁ¤ÀÌ °³¼³µÇ¾ú°í, À̾ 75³â 8¿ù¿¡´Â ¹®¸®°ú ´ëÇп¡ ¹°¸®Çаú°¡ ºÎȰµÇ¾î 76³âºÎÅÍ ´Ù½Ã ½ÅÀÔ»ýÀ» ¸ðÁýÇÏ°Ô µÇ¾ú´Ù. 1989³â¿¡´Â ±âÃʰúÇÐ ½ÇÇè½Ç½À°üÀÌ ÁذøÀ» º¸¾Æ À̰ø°è ÇлýµéÀÇ ±âÃÊ ¹°¸®½ÇÇè ±³À°¿¡ ÁúÀûÀÎ µµ¾àÀÇ °è±â°¡ ¸¶·ÃµÇ¾ú´Ù. ÇкÎÁ¦ÀÇ ½Ç½Ã·Î ÀÚ¿¬°úÇдëÇÐÀÌ ÀÚ¿¬°úÇкηΠÀüȯµÇ¸é¼­ ¹°¸®Çаú´Â 1997³â 3¿ù ÀÚ¿¬°úÇкΠ¹°¸®ÇÐ Àü°øÀ¸·Î ¸íĪÀ» ¹Ù²Ù¾ú°í À̾ 1998³â 3¿ù ¹°¸®ÇÐ Àü°øÀÌ ½Å¼ÒÀç¹°¸®Àü°øÀ¸·Î ¸íĪ º¯°æÇÏ¿© ¿À´Ã¿¡ À̸£°í ÀÖ´Ù

ÇкÎÁ¦·Î ÀüȯµÊ¿¡ µû¶ó ¹°¸®ÇÐÀü°øÀ» ½Å¼ÒÀç ¹°¸®ÇÐÀü°øÀ¸·Î ¹Ù²Ù°í ±âÁ¸ÀÇ ÀÌ·ÐÀ§ÁÖÀÇ ±³°ú¸ñÀ» Á¤ºñÇÏ¿© ½ÇÇè°ú¸ñÀ» °­È­Çϰí Áø°ø°úÇÐ, ¹Ú¸·°øÁ¤, °èÃø¹°¸®ÇÐ, ¹ÝµµÃ¼°øÁ¤ µîÀÇ ½Å¼ÒÀç ¹× ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ ¹Ù·Î ÀÀ¿ëµÉ ¼ö ÀÖ´Â °ú¸ñµéÀ» °³¼³, °­ÀÇÇϰí ÀÖÀ¸¸ç ¼öÄ¡ÇØ¼®, Àü»ê ¹°¸® µîÀÇ Àü»ê°ü·Ã °ú¸ñÀ» °³¼³ÇÏ¿© ÷´Ü»ê¾÷ÇöÀå¿¡¼­ µîÀåÇÏ´Â ¿©·¯ °¡Áö ¹®Á¦µéÀ» ÄÄÇ»ÅÍ ½Ã¹Ä·¹À̼ÇÀ¸·Î ÇØ°áÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ´É·ÂÀ» ¹è¾çÇϰí ÀÖ´Ù. ÇöÀç 10¸íÀÇ ÀüÀÓ ±³¼öµéÀÌ ¿©·¯ ºÐ¾ß¿¡¼­ Ȱ¹ßÇÑ ¿¬±¸ Ȱµ¿À» ÆîÄ¡°í ÀÖÀ¸¸ç ±³À°°úÁ¤ÀÌ ½Å¼ÒÀç ¹°¸® Àü°øÀ¸·Î ÀüȯµÊ¿¡ µû¶ó ÀÎÀû ±¸¼º ¿ä¼ÒµéÀÌ ½Å¼ÒÀç ¹× ¹ÝµµÃ¼ Àç·áÇÐ, °øÁ¤ ºÐ¾ß·Î ¿¬±¸¹æÇâÀ» ¼³Á¤ÇÔÀ¸·Î½á ¿¬±¸½Ã¼³ ¹× ¿¬±¸ ´É·ÂÀ» ±Ø´ëÈ­ ÇϰíÀÚ ÇÏ´Â ½Ãµµ°¡ ÀÌ·ç¾îÁö°í ÀÖ´Ù.

ºÐ¾ßº° ¿¬±¸ ³»¿ë

1.Ç¥¸é¹°¸®¿¬±¸½Ç

°íü Ç¥¸é¿¡¼­ ÀϾ´Â ¿©·¯ °¡Áö ¹°¸®Àû Çö»óµéÀ» ¿¬±¸ÇÏ´Â °ÍÀÌ º» ¿¬±¸½ÇÀÇ ¸ñÀûÀÌ´Ù. ÇöÀç ¼öÇàÇϰí ÀÖ´Â ¿¬±¸ °úÁ¦·Î´Â »ó´ëÀûÀ¸·Î sputtering-yield°¡ ³ôÀº ±Ý¼Ó °áÁ¤Ç¥¸é¿¡ yield°¡ ³·Àº ±Ý¼Ó¿øÀÚµéÀ» ½ºÆÛÅÍ ÁõÂø½Ã۰í, ÁõÂøµÈ Ç¥¸éÀ» argon ÀÌ¿ÂÀ¸·Î bombardment½Ãų ¶§, ÁõÂøµÈ ¿øÀÚµéÀÌ Ç¥¸é¿¡¼­ clusterµéÀ» Çü¼ºÇÔÀ¸·Î¼­ ±× ¾Æ·¡¿¡ ÀÖ´Â ±âÁúÇ¥¸éÀ» º¸È£ÇÏ¿© ½ºÆÛÅ͸µµÇ´Â °ÍÀ» ¸·¾ÆÁÜÀ¸·Î¼­ Ç¥¸é¿¡ coneµéÀÌ Çü¼ºµÇ´Â Çö»ó¿¡ ´ëÇÏ¿© ¿¬±¸Çϰí ÀÖ´Ù. º» ¿¬±¸½Ç¿¡¼­ º¸À¯Çϰí ÀÖ´Â °ü·ÃÀåºñ·Î¼­´Â Low energy electron diffraction optics, Auger electron spectrometer, X-ray photoelectron spectrometer, Ion gun(5 keV), Electron gun(5 keV)¿Í Quadropole mass analyser°¡ ÀÖÀ¸¸ç º»±³ °øµ¿±â±â ¼¾ÅÍ¿¡¼­ º¸À¯Çϰí ÀÖ´Â Atomic force microscopy, Scanning electron microscope¸¦ ÀÌ¿ëÇϰí ÀÖ´Ù.
°ü·Ã±³¼ö: Áø¿ø¹è wbjin@daunet.donga.ac.kr

2. À¯Àüü ¹Ú¸· ¹× °áÁ¤¿¬±¸½Ç

º» ¿¬±¸½Ç¿¡¼­´Â À¯Àüü ¹× °­À¯ÀüüÀÇ ¹Ú¸·°ú °áÁ¤À» Á¦ÀÛÇÏ¿© ¹°¼º ¹× ÀÀ¿ë¿¡ ´ëÇÑ ¿¬±¸¸¦ Çϰí ÀÖ´Ù. ÇöÀç´Â PbZrO3¿Í PZT¹Ú¸·À» sol-gel¹ýÀ¸·Î ¸¸µé¾î ¹Ú¸·ÀÇ Àü±âÀû Ư¼º°ú °áÁ¤È­¿¡ ´ëÇÑ ¿¬±¸¸¦ Çϰí ÀÖÀ¸¸ç, Â÷ÈÄ ´Ù¾çÇÑ ¹°ÁúÀÇ ¹Ú¸· Á¦ÀÛ¿¡ ´ëÇÑ ¿¬±¸·Î È®´ëÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ±×¸®°í RF Sputtering¹ýÀ¸·Î BST¹Ú¸·ÀÇ Á¶¼º ¹× Á¦ÀÛÁ¶°Ç¿¡ µû¸¥ ±âÃÊ¿¬±¸¸¦ Çϰí ÀÖÀ¸¸ç À̸¦ ÀÌ¿ëÇÑ °£´ÜÇÑ deviceµîÀ» Á¦ÀÛÇÏ¿© ÀÀ¿ë¿¡ ÀÌ¿ëÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù ÁÖ¿ä ¿¬±¸±âÀÚÀç·Î¼­´Â low frequency impeadance analyzer, pA meter/ DC voltage source, standarized ferroelectric test system, digital oscilloscope, fuction signal generator, monochromator, spin coater, lock-in amp, RF sputter µîÀÌ ÀÖ´Ù. ±×¸®°í XRD ½ÇÇè½Ç¿¡´Â ¹Ú¸·°ú ºÐ¸»¹ýÀ» ºÐ¼®ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â 2 armÀ» °¡Áø PillipsÀÇ X'pert XRD¸¦ ¼³Ä¡ÇÏ¿´À¸¸ç ¹°¸®Çаú³»ÀÇ ¹Ú¸· ¹× °áÁ¤ÀÇ ºÐ¼®À» µµ¿ÍÁÖ°í ÀÖ´Ù.

°ü·Ã±³¼ö: ¹è¼¼È¯ shbae@seunghak.donga.ac.kr

3. ¹ÝµµÃ¼¿¬±¸½Ç

º» ¿¬±¸±×·ì¿¡¼­´Â ¹ÝµµÃ¼ Àç·á ¹× ¼ÒÀÚ¿¡ °ü·ÃµÈ ¹°¸®Àû Çö»óÀ» ½ÇÇè°ú ÀÌ·ÐÀ» ÅëÇÏ¿© ¿¬±¸Çϰí ÀÖ´Ù. ½ÇÇè ºÐ¾ß¿¡¼­´Â ÇöÀç ´ÙÀ̾Ƹóµå ¹Ú¸· ¹× DLC ¹Ú¸·À» Á¦ÀÛÇÏ¿© Ư¼ºÀ» ¿¬±¸ÇÑ´Ù. ÁÖµÈ ¿¬±¸ ÁÖÁ¦´Â ´ÙÀ̾Ƹóµå ¹Ú¸·ÀÇ Çü¼º ¸ÞÄ«´ÏÁò ±Ô¸í, Àü°è¹æÃâ ´ÙÀÌ¿ÀµåÀÇ °³¹ß, ´ÙÀ̾Ƹóµå ¹Ú¸·¿¡ÀÇ Doping, Ãʰ浵 ÄÚÆÃ ¹°Áú°ú ÆÄÀ̹ö °³¹ß, ´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ Æ®·£Áö½ºÅÍ ¹× ¹æ»ç´É °ËÃâ ¼ÒÀÚ °³¹ß µîÀÌ´Ù. ¶ÇÇÑ ÃÖ±Ù¿¡´Â ź¼Ò³ª³ëÆ©ºê¸¦ ÇÕ¼ºÇÏ¿© Àü°è¹æÃâ Æ¯¼º¿¡ ´ëÇÑ ¿¬±¸¸¦ ÃßÁøÇϰí ÀÖ´Ù. À̸¦ ÅëÇÏ¿© ¾çÁúÀÇ Àü°è¹æÃâ ¼ÒÀÚ¿¡ ´ëÇÑ °³¹ßÀ» Çϰí, ³ª¾Æ°¡¼­´Â ³ª³ë ¼ÒÀÚÀÇ Á¦ÀÛÀ» °èȹÇϰí ÀÖ´Ù. (°ü·Ã±³¼ö: ¹ÚÈ«ÁØ, ±è¿ë) ÀÌ·Ð ºÐ¾ß¿¡¼­´Â ÄÄÇ»ÅÍ ½Ã¹Ä·¹À̼ÇÀ» ÅëÇÑ ¹°ÁúÀÇ Æ¯¼º ¹× ÇÕ¼º ¸ÞÄ«´ÏÁòÀ» ¿¬±¸(°ü·Ã±³¼ö: ÀÌÀç¿­)Çϰí ÀÖ´Ù. ¿¬±¸ÁÖÁ¦´Â Á¦ÀÏ¿ø¸®°è»ê ¹æ¹ýÀ» ÀÌ¿ëÇÑ ¹ÝµµÃ¼ Àç·áÀÇ Ç¥¸é ±¸Á¶ ¹× ¼ºÁú, ¹Ú¸· ¼ºÀå¿ø¸®, Ŭ·¯½ºÅÍÀÇ ±¸Á¶ ¹× ¼ºÁú¿¡ ´ëÇÑ °è»êÀÌ´Ù. º¸À¯Çϰí ÀÖ´Â Àåºñ´Â °í¿ÂÇʶó¸àÆ® CVD ÀåÄ¡, RF ÇöóÁ CVD Àåºñ, °í¿Â CVD ÀåÄ¡, Àü°è¹æÃâ Æ¯¼º ÃøÁ¤ Àåºñ, I-V, C-V, C-t ÃøÁ¤ ÀåÄ¡ µîÀÌ´Ù.

°ü·Ã±³¼ö: ¹ÚÈ«ÁØ hjpark@daunet.donga.ac.kr

ÀÌÀç¿­ jyyi@daunet.donga.ac.kr

񊨉 yongkim@daunet.donga.ac.kr

4. ÇÙ¹°¸®¿¬±¸½Ç

¾ËÆÄ¡¤º£Å¸¡¤°¨¸¶¼± ¹× Áß¼ºÀÚ¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ¿© ¿©·¯ °¡Áö ÇÙÀÇ Æ¯¼º°ú ±¸Á¶¸¦ ¿¬±¸ÇÑ´Ù. °¡¼Ó±â ÇÙ¹ÝÀÀÀ» ÅëÇÑ 167Er°ú 164DyÀÇ Áß¼ºÀÚÆ÷ȹ ´Ü¸éÀû°ú Æ÷ȹ °¨¸¶¼± ÇØ¼®, Áß¼ºÀÚ¼±¿ø(Cf, Am-Be)À» ÀÌ¿ëÇÑ °í¼ÓÁß¼ºÀÚÀÇ Àü´Ü¸éÀû ÃøÁ¤, Ç¥ÁØ °¨¸¶¼±¿øÀ» ÀÌ¿ëÇÑ °¢Á¾ ÇÙÁ¾¿¡ ´ëÇÑ °¨¸¶¼± Åõ°úÀ² ÃøÁ¤¹æ¹ý µîÀ» ¿¬±¸Çϰí ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ ¹æ»ç¼± °ËÃâ±â(NE-213 µîÀÇ ¼¶±¤°ËÃâ±â)¸¦ °³¹ßÇϰí, ±× Ư¼º°ú spectrum ÇØ¼®¿¡ °üÇÑ Unfolding ¹× simulation¿¡ °üÇÑ ¿¬±¸¸¦ ÇÑ´Ù. º¸À¯ Àåºñ´Â, ¾ËÆÄ¡¤º£Å¸¡¤°¨¸¶¼± ¹× Áß¼ºÀÚ ÃøÁ¤ °ËÃâ±â·Î Si ÇÏÀüÀÔÀÚ °ËÃâ±â, HPGe (20 %), 3"(well type)¡¤2" NaI(Tl) °ËÃâ±â, NE-213, Plastic detector µîÀ», °èÃø electronics·Î´Â AMP, TAC, LG&S, GDG, CFD, MCA, HV µî 50¿© moduleÀÌ ÀÖ´Ù. ±× ¹Û¿¡ ȯ°æ¹æ»ç´É ÃøÁ¤¿ë ¾ËÆÄ¡¤º£Å¸¡¤°¨¸¶¼± low back-ground ÃøÁ¤Àåºñ°¡ ÀÖÀ¸¸ç, ÃøÁ¤¿ë PC, ºÐ¼®¿ë Workstation ¹× PC°¡ ÀÖ´Ù.

°ü·Ã±³¼ö: ³ëÅÂÀÍ tiro@daunet.donga.ac.kr

5. ÇöóÁ ¿¬±¸½Ç

º» ¿¬±¸½ÇÀº °øÁ¤¿ë ÇöóÁ, ºñÁß¼º(ÀüÀÚºö) ÇöóÁ¿¡ °üÇÑ ÀÌ·Ð ¹× ½ÇÇ迬±¸¸¦ ¼öÇàÇϰí ÀÖ´Ù.

Filament Glow Discharge¿Í Inductively Coupled Plasma (ICP) Source¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ÇöóÁ¸¦ ¹ß»ý½Ã۰í single probe¹× double probe·Î Áø´Ü½ÇÇèÀ» ÁøÇàÇϰí ÀÖÀ¸¸ç ÇöÀç Optical Emission SpectroscopyÀåÄ¡¸¦ ±¸Ãà Áß¿¡ ÀÖ´Ù. ¾ò¾îÁø ½ÇÇè µ¥ÀÌÅ͵éÀº ½Ã¹Ä·¹À̼ÇÀ¸·Î ±¸ÇØÁø °ªµé°ú ºñ±³ÇÏ¿© °øÁ¤¿ë ÇöóÁ ¹ß»ýÀåÄ¡ÀÇ Æ¯¼º ¹× ÃÖÀûÈ­ ¿¬±¸¸¦ ¼öÇàÇϰí ÀÖ´Ù. ±×¸®°í ICP¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) ÀåÄ¡¸¦ °¡µ¿ÇÏ¿© silicon oxide ¹× organic thin film semiconductor ¿¬±¸¸¦ ¼öÇàÇϰí ÀÖ´Ù. ±× ¹Û¿¡ Pulse modulationÀ» Àΰ¡ÇÑ Radio Frequency Plasma ReactorÀÇ temporal behavior(½Ã°£°Åµ¿)À» time-dependent Global Model·Î °è»êÇϰí ÀÖ´Ù. ÁÖ¿ä ±âÀÚÀç·Î´Â RF Generator, Broad band rf amplifier, Matching Network, ´Ù·®ÀÇ Power Supply °¡ µÎ´ëÀÇ plasma ¹ß»ýÀåÄ¡ (ICPÀü¿ë, ICP ¹× filament ¹æÀü °â¿ë)¿¡ ÀåÂøµÇ¾î ÀÖ°í ºÐ¼®ÀåºñµéÀ» PC·Î Á¦¾îÇϰí ÀÖ´Ù. ÇаúÀÇ host computerÀÎ Origin 200 (Silicon Graphics)¿Í ½ÇÇè½Ç º¸À¯ÀÇ DEC alpha workstation, pentium PC 4´ë¸¦ ¿¬°áÇÏ¿© ÀÌ·Ð ¹× ½Ã¹Ä·¹ÀÌ¼Ç ¿¬±¸¿¡ Ȱ¿ëÇϰí ÀÖ´Ù.

°ü·Ã±³¼ö: Á¤ÅÂÈÆ thchung@plasma.donga.ac.kr

6. ÀÀ¿ë¹°¸®¿¬±¸½Ç

º» ½ÇÇè½Ç¿¡¼­ ´Ù·ç´Â ÁÖÁ¦µéÀº ±âº»ÀûÀ¸·Î º» ÇаúÀÇ Æ¯¼º°ú Á¶È­µÉ ¼ö ÀÖ´Â ºÐ¾ß¿¡ ÇÑÁ¤µÈ °Í¸¸À» Ãë±ÞÇϰí ÀÖÀ¸¸ç, ÁÖ·Î °áÁ¤ ¹× ºñÁ¤Áú ½Ã·á¿¡¼­ÀÇ ºñ¼±Çü È¿°ú¿¡ °ü½ÉÀ» µÎ°í ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ, ¹°¸®ÇÐ ÀÌ·ÐÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ½Ã·á Á¦ÀÛ°ú ¹°¼º ÃøÁ¤¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ±âº»ÀûÀÎ ÀåÄ¡µéÀ» °¡´ÉÇÑ ÇÑ ÀÚü Á¦ÀÛÇϰí ÃøÁ¤ÇÏ´Â °ÍÀ» ±ÇÀåÇÔÀ¸·Î½á ½ÇÇè¹°¸®ÇÐÀڷνáÀÇ ¼Ò¾çÀ» ÁõÁø½ÃŰ´Â µ¥ ÀÖ´Ù. º» ½ÇÇè½ÇÀÇ º¸À¯Àåºñ´Â Sampling Oscilloscope, Lock-In Amplifier, Electrometer, 0.25 m Monochrometer, Laser Power Meter, 100 MHz Digital Oscilloscope, Audio Amplifier, Photo Diode Detector, Signal Generator, Optical Spectrum Analyser µîÀÌ´Ù.

°ü·Ã±³¼ö: Á¤¼¼¹Î smjung@daunet.donga.ac.kr